洁净棚：

在生产环节中，对局部区域空间环境洁净度有更高需求的工序制程可采用洁净棚，净棚也称为微环境洁净棚、洁净区，实质上是一种在无尘洁净车间实现可控的局部更高洁净等级空气净化设备。主要由FFU风机过滤单元（含：工业风机、空气过滤器、箱体、控制元件、净化灯）、棚体框架结构（钢架、铝型材）、防静电PVC垂帘软片等组成。其中，FFU根据风量和洁净度的不同需求可阵列也可单列。

洁净棚可达到百级洁净标准，且具备成本适宜、安装快捷简便、扩展性强、运行费用低等特点。