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光刻机是制造集成电路和半导体芯片的关键设备之一,其精度和稳定性对于芯片的性能和可靠性具有决定性的影响。在光刻机使用时,黄光区是一个空气管控的重要区域,洁净度达到ISO Class2、ISO Class1级。
乐玩微环境洁净棚,适配乐玩U17过滤器,适用于微电子半导体工业的光刻黄光区,多层净化,为光刻品质提供保护。图为乐玩为国内某著名科技大学黄光区进行空气净化管控建设,特殊结构设计,解决安装空间紧凑有限的难题,且保障了维保便捷。
  • 光刻黄光区U17空气过滤
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